용인시산업진흥원 공고 제2026-12호
품목지정형 반도체 소재·부품·장비 R&D 지원사업 모집공고
용인시산업진흥원에서는 품목지정형 반도체 소재·부품·장비 응용기술(요소기술) R&D 지원을 통해 반도체 기업 기술 역량 확보 및 기업 경쟁력 강화를 지원하고자 아래 내용과 같이 지원사업을 공고하오니 많은 관심과 참여 바랍니다.
2026년 1월 22일
용인시산업진흥원장
1 | | 사업개요 |
○ 사업목적: 반도체 소재·부품·장비 응용기술(요소기술) R&D 지원을 통한 반도체 기업 기술 역량 확보 및 산업 성장 도모
○ 지원기간: 2026. 3. ~ 2028. 12. (3개년)
- (1차년)'26년 3월 ~ 12월, (2차년)'27년 1월 ~ 12월, (3차년)'28년 1월 ~ 12월
※ 사업 추진현황에 따라 지원 기간 및 규모가 변경될 수 있음
※ 지원기업 ‘선정’ 평가는 1차년도(2026년)에 시행하며 사업 협약 및 평가, 지원금 지급 및 정산은 매년 각 연차별로 진행함.
○ 지원규모: 2개사
※ 공동연구개발 지원 불가, 단일 기업 연구개발 지원
○ 지원예산: 기업당 9,000만원 이내(1차년도)
- 각 기업별·연차별 9,000만원 내외 총 3개년 지원(공급가액 기준, 부가세 제외)
- 지원기업은 총 사업비의 20% 이상 현금 매칭 필수
※ 기업 현금매칭은 매년 연차별 총 사업비에 대하여 매칭함
※ 예시) 1차년도 총 사업비 112,500천원: 지원금 90,000천원 신청 + 기업부담금 22,500천원 이상 매칭 필요
※ 기업에서 원하는 경우 기업부담금은 20%를 초과하여 매칭할 수 있음
○ 사업내용: 품목지정형 추진과제(RFP 2건)에 대한 3개년 R&D 비용 지원
품목번호 | 품목명(TRL: 4~6단계) |
2026-소재부품장비-요소기술01 | 질소(N2) 정제를 위한 소형 Purifier 기반 EFEM 퍼지 재활용 시스템 기술 개발 |
2026-소재부품장비-요소기술02 | 차세대 식각/증착 공정의 플라즈마 부하 변동 안정화를 위한 다중 주파수·고조파 대응 능동형 RF Harmonic Matching system 개발 |
2026-소재부품장비-요소기술03 | 고온·고부하 환경에서 정밀 열유동 균일화 가능한 반도체 패키지 테스트용 챔버 개발 |
※ 상기 품목지정 RFP 중 2개 과제를 선정 및 지원 ※ [별첨1] 품목지정형 반도체 소재·부품·장비 목록 참고(공고문 한글 파일에서 확인) | |
2 | | 추진절차 및 추진일정 |
○ 추진절차: 기업 선정 후 연차별 평가를 통한 사업성과(연차별 목표) 점검
- (적정) 연차별 사업 지속추진(1,2차년도) 및 사업완료(3차년도)
- (보류) 추진상황 재점검 및 후속방안 마련 후 재평가 실시(1~3차년 동일)
· 재평가 결과 적정의 경우 사업 지속, 실패의 경우 사업 종료 및 환수
- (실패) 사업 종료 및 환수
· (1·2차년) 사업 종료 및 환수 후 잔여사업비 활용 신규사업 공고
→ 기존 선정 및 지원한 RFP 외 잔여 2개 RFP를 활용한 R&D 과제 신규 공고 및 모집
→ 신규 공고 및 모집 R&D 과제(기업)의 경우 당해연도를 1차년도로 설정후 사업추진
· (3차년) 사업 종료 및 환수
○ 추진일정(1차년도)
신청서 접수 | | 선정평가(발표) | | 현장실사 | | 협약체결 및 Kick-off 회의 |
• 사업공고 - 1/22~2/5(2주) - 기업지원시스템 통해 온라인 접수 | ▶ | • 선정평가 - 2/12(목)(예정) - 발표평가(PPT) - 평가대상 기업 별도 안내 | ▶ | • 선정기업 대상 현장실사(소재지확인) - 2/19(목)~2/23(월) 중 진행(예정) | ▶ | • 협약체결 및 Kick-off 회의 예정 - 2/26(목)~2/27(금) 중 진행(예정) |
1월~2월 | | 2월 | | 2월 | | 2월 |
지원금 지급 및 사업수행 | | 중간점검 | | 완료평가 | | 사업비 정산 |
• 지원금 지급(60%) • 사업수행 | ▶ | • 중간점검 - 중간보고서 제출 • 현장 또는 서면 | ▶ | • 완료평가(11월말) - 완료보고서 및 정산보고서 제출 • 잔금(40%) 지급 | ▶ | • 사업비 정산 |
3월~11월 | | 8월 | | 11월 | | 11~12월 |
※ 상기 일정은 사업추진 상황에 따라 변경될 수 있음(세부 추진일정 변경, 조기완료 등)
※ 중간·완료 평가 시 필요에 따라 관련 전문가를 동행한 현장실사를 진행할 수 있음
※ 연구개발 사업은 연속성을 가지고 추진이 가능하나, 당해연도 완료평가·정산 이후부터 차년도 사업비 교부 전까지는 예산집행이 불가함
3 | | 지원금 지급 |
○ (지급시기) 기업부담금 입금확인 및 협약체결 후 사업비 전용 계좌로 지원금(60%) 선지급, 완료평가 진행 후 잔금(40%) 지급.
※ 선급금의 이행(지급)보증보험 발급 의무
※ 사업비 전용통장 개설 및 기업부담금 입금이 확인된 기업에 한함
※ 사업수행 실패 및 포기의 경우 지원금(100%) 전액 환수
○ (지 급 처) 지원기업에 직접 지급
※ 사업비 통장은 기업명으로 된 신규통장 또는 기존 통장 잔액정리(0원) 후 이용 가능
○ (지급조건) 연구개발비 산출내역에 부합하는 건에 한하여 지급 가능하며, 선지급된 지원금 또한 기준에 부합하지 않는 경우 환수될 수 있음
- 직접비(인건비, 연구시설·장비비, 연구재료비, 연구활동비 등)에 한하여 연구개발비 계상 및 지원 ※ 현금으로만 계상 가능
- 간접비는 회계정산수수료만 계상 가능하며 부가가치세, 송금수수료 등 계상 불가 ※ 기업부담금으로도 계상 불가
4 | | 신청자격 |
○ 지원대상: 용인 소재 본사 또는 공장 등록 기업
- 반도체용 소재·부품·장비·공정시설용 (시)제품 보유 또는 개발 기업
- 단순 유통 또는 조립만을 수행하는 기업 제외
○ 제외대상
- 진흥원이나 유관기관, 협회 등으로부터 동일 또는 유사한 사업(아이디어)으로 지원받은 경우(동일년도에 동시수혜도 불가)
- 신청기업 지원현황에 대한 진흥원 및 지자체, 유관기관 등 확인 절차를 통하여 중복수혜 여부 파악 예정
- 정부·지자체·공공기관 등으로부터 사업 참여제한 중인 사업자(개인)
- 지방세 및 국세 체납기업, 부도 또는 휴·폐업 중인 기업
- 사업 참여를 위해 제출한 서류가 허위로 판명된 기업
- 타인의 저작권 침해, 창작물을 도용·모방한 기업
- 이행보증보험증권 발급 불가 기업(선급금)
- 기타 관련규정, 중복성, 신청자격 등에 적합하지 않은 기업
5 | | 선정방법 및 평가기준 |
○ 선정방법
- 외부 평가위원 5인 이상의 선정평가(발표)를 통해 선정
※ 제한사항 없을 시 사업 담당자가 지원 요건 충족 여부 등 서류 적부 평가 후 선정평가 진행
※ 접수 마감 후 발표평가용 발표자료(PPT 등) 1부 제출 必, 선정평가 대상 기업별 안내 예정
- 선정평가 시 발표 및 질의응답은 신청기업 대표자 또는 연구책임자 등 본 사업에서 수행하고자 하는 연구개발에 대해 전문성 및 이해도를 가진 전문 인력이 실시해야 함
- 평가기준에 따라 평가결과 70점 이상인 기업 중 고득점 순으로 선정
- 최고점수와 최저 점수를 제외한 점수의 산술평균으로 계산
- 미선정 기업 중 평가결과 70점 이상 기업은 고득점 순 예비 기업 선정
- 선정 후 결격사유 등에 의한 탈락(포기)기업 발생 시 예비 순위 기업 선정 가능
- 선정평가를 통해 지원 금액 및 지원 범위가 일부 조정될 수 있음
- 사업비 책정이 과도하다고 판단될 경우, 사업비 하향조정 및 가능
- 선정평가 후 실사를 통한 사업장 소재지 등 확인 후 지원기업 최종 선정
○ 평가기준
- 선정평가 평가표
평가항목 | 세부평가항목 | 배 점 |
지원의 필요성 | - 추진 목적 및 배경, 추진 필요성 | 20점 |
기업(제품) 역량 | 기술성 및 제품 우수성, 차별성 기업 현황(인증, 특허, 유망중소기업 등) 사업수행능력 참여인력의 전문성 및 지원능력 | 20점 |
사업계획의 적정성 | - RFP 품목 부합성 - 사업계획의 구체성(기술 목표 수준, 결과물에 대한 구체적 검증 및 시험평가 계획 등) - 사업계획의 체계성 및 적절성 사업계획의 구현 가능성 사업비 집행계획 적정성 활용계획의 타당성 | 40점 |
기대효과 | 예상성과(매출, 고용 등) - 파급효과(기술적, 산업적, 경제적 파급효과) | 20점 |
○ 지원사업 선정평가 가감점
구 분 | 점수 | 비고 | ||
가점 | 진흥원 입주기업 | +1점 | | |
여성기업 | +1점 | 중소벤처기업부 여성기업 확인서 | ||
용인시 우수기업 또는 일자리 창출 우수기업 | +1점 | 용인시 인증서 ※ 중복 적용하지 않음 | ||
최근 3개년 이내 사업 수혜이력이 없는 기업 | +2점 | | ||
감점 | 지원금액 총계 (전년도) | 5천만원 이상 | -4점 | |
3천만원 이상 | -3점 | | ||
3천만원 미만~2천만원 | -2점 | | ||
2천만원 미만~1천만원 | -1점 | | ||
매출액 (전년도) | 300억원 이상 | -4점 | | |
300억원 미만~200억원 | -3점 | | ||
200억원 미만~100억원 | -2점 | | ||
100억원 미만~50억원 | -1점 | | ||
※ 가·감점은 선정평가(서면, 발표)시 1회에 한해 적용하며, 증빙서류 미제출 시 가점 인정 불가
6 | | 신청기간 및 방법 |
○ 신청기간: 2026. 1. 22.(목) ~ 2. 5.(목) 15:00 까지
※ 마감일 접속이 몰리거나 기타 사유 등으로 사이트 오류가 발생할 수 있으므로 시간적 여유를 두고 신청하는 것을 권장하며, 사이트 오류 및 기타 사유로 신청기간 내 신청하지 못한 경우 인정되지 않음
○ 신청방법: 온라인 접수 (https://ybs.ypa.or.kr)
※ 본 지원사업 신청시 연구개발(R&D) 1가지 분야로만 신청(타 지원분야로 신청하지 않도록 주의)
- 해당 지원사업에 안내된 신청 서류(첨부파일)를 작성하여 기타 제출 서류와 함께 접수처 내 업로드 제출
※ 각 제출 서류의 제목은 ‘26년_(품목지정형R&D)_제출서류명_기업명’으로 제출 요망
※ 직인 날인한 신청서 및 각종 서류는 스캔본 및 PDF파일로 저장하여 제출
※ 용인기업지원시스템을 통한 온라인 접수만 가능 (방문/메일/우편 등 기타 방법 접수불가)
※ 모든 신청기업은 용인기업지원시스템 회원가입 및 기업정보 사전등록 필수
- 세부사항은 별첨 및 붙임 사업계획서 양식 내 안내사항에 따라 작성
□ 문의처: 전략산업팀(031-323-5229, seo@ypa.or.kr)
7 | | 유의사항 |
○ 필수서류가 누락 되거나 제출 서류의 유효기간이 만료된 경우, 선정평가 대상에서 제외될 수 있음
○ 신청서 내용 추가 확인, 미비서류 발생 등에 대하여 신청기업으로 보완 및 추가 자료를 요청할 수 있으며, 이에 불응 및 미제출 시 선정평가 진행이 불가함에 따라 선정평가 대상에서 제외
○ 신청서 및 제출 서류의 내용이 허위 또는 거짓으로 판명되거나, 기한 내 협약을 체결하지 않는 경우, 중복지원 및 참여제한 대상으로 확인될 경우 선정 취소
※ 진흥원 및 유관기관 등 확인 절차를 통하여 신청기업의 중복수혜 여부 판단
※ 상기 외에도 지원금의 부정청구 또는 부정이익이 발생한 경우, 「공공재정 부정청구 금지 및 부당이익 환수 등에 관한 법률」에 따라 제재부가금이 부과될 수 있음
○ 지원기업으로 선정되었더라도 지원사업 관리지침 및 기타 제반사항의 위반내용이 발견될 경우, 협약기간 내 사업공고에 명시된 지원자격 조건을 상실할 경우 사업 중단 및 지원비 환수
※ [별첨2] 참여제한 및 지원금 회수대상 제재등급 참고(공고문 한글 파일에서 확인)
○ 사업비 집행 계획에 대해 각 항목 및 사용용도가 추진하고자 하는 연구개발 목적 및 내용에 타당하고 구체적으로 산정되어야 하며, 선정평가 시 예산의 산정이 타당하지 않거나 과다하게 편성된 것으로 평가되는 경우에는 일부 조정 또는 불인정 될 수 있음.
※ [별첨3] 지원사업 사업비 항목 및 사용용도(공고문 한글 파일에서 확인)
○ 동 공고문에서 정하지 아니한 내용은 진흥원 내규 및 지침, 안내사항을 따르는 것을 원칙으로 함
8 | | 제출서류 |
서류구분 | 번호 | 구비서류 | 부수 | 비고 |
필수 제출 | 1 | 사업계획서 | 1부 | - (붙임) 양식 작성 후 제출 PDF 파일 제출 ※ 인감(개인/법인) 직인날인. 원본은 추후 선정기업 대상 제출요청 예정 ※ 최종 선정기업은 선정 후 인감증명서 제출 ※ 3개년 연구개발 종합 계획 및 1차년도 |
2 | 확약서 | 1부 | ||
3 | 개인정보 이용 및 제공 동의서 | 각 1부 | - (붙임) 양식 작성 후 제출 ※ 대표자 및 참여인력 등 신청서에 개인정보를 입력한 모든 인원 서명 후 PDF파일로 제출 | |
4 | 사업자등록증, 사업자등록증명원 | 각 1부 | 등록증과 증명원 각 1부씩 모두 제출 - 증명원: 공고일 기준 1개월 이내 발급분 - 용인 공장 소재 기업은 공장등록증도 함께 제출 | |
5 | 2025년 재무제표 | 1부 | 법인사업자는 국세정 표준재무제표증명 ※ 2025년 재무제표 결산 이전인 경우 부가가치세과세표준증명원으로 대체 - 개인사업자는 부가가치세증명원 제출 - 면세사업자는 수입금액증명원 제출 | |
6 | 국세/지방세 납입증명서 | 각 1부 | - 모집공고일 기준 유효한 서류 제출 - 지방세, 국세납입증명서 각각 제출 - 개인사업자의 경우 지방세납세증명서 제출 시, 주소(영업소)에 주사업장 표기 필수 | |
7 | NTIS 차별성 검토 검색결과증 | 1부 | 기본값(40점)으로 검색 | |
해당 시 | 8 | 가점 증빙서류 | 각 1부 | - (여성대표자) 여성기업 확인서 - (진흥원 입주기업) 입주계약서 ※ “상주”기업만 인정, “비상주” 미인정 - (우수기업) 우수기업 인증 및 확인서 - 미제출시 가점 부여 제외 - 유효기간 경과한 서류는 인정 불가 |
9 | 기타 증빙서류 | 각 1부 | - 신청서 내 기입한 특허, 인증, 수상내역 등에 대한 증빙자료 제출 - 이노비즈, 벤처기업 인증서, 기업부설연구소 인정서 등 |
[참고] 제출서류 발급처
구 분 | 서 류 명 | 발 급 처 |
사업자 확인 | ○ 사업자등록증 | 관할세무서 또는 국세청 홈텍스 |
매출액 확인 | ○ 부가가치세 과세표준증명원 | 세무서 방문, 국세청 홈택스, 민원24 |
○ 최근 1년간 표준재무제표증명(손익계산서 必) | 국세청 홈택스 | |
세금납부 확인 | ○ 국세 납입 증명서 | 국세청 홈텍스 |
○ 지방세 납입증명서 | 시·구청 또는 읍·면·동사무소, 정부24 홈페이지(www.gov.kr) |